精度テスト - レーザー追跡および位置決めテスト

工作機械の精度検出に使用される専用装置で、光波を搬送波とし、光波の波長を単位としています。測定精度が高く、測定速度が速く、最高測定速度で高解像度を実現し、測定範囲が広いなどの特長があります。各種光学部品と組み合わせることで、真直度、垂直度、角度、平面度、平行度など、様々な幾何学的精度の測定を実現します。関連ソフトウェアとの連携により、CNC工作機械の動特性検出、工作機械の振動試験・解析、ボールねじの動特性解析、駆動システムの応答特性解析、ガイドレールの動特性解析なども行えます。極めて高い精度と効率を備え、工作機械の誤差補正の基礎となります。

レーザー干渉計は、高精度、強力な耐干渉能力、およびレーザー周波数出力の良好な長期安定性を実現できます。高速干渉信号取得、調整、および細分化技術の使用により、ナノメートルレベルの解像度を実現でき、高精度の機械設備の製造に役立ちます。